国产光刻机最大的希望！上海微电子要上市了

据中信建投披露， 上海微电子装备（集团）股份有限公司计划在国内首次公开募股(IPO)并上市 ，中信建投是其辅导机构。

根据官方信息，上海微电子注册成立于2002年3月7日，主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。

上海微电子旗下的光刻机产品主要有两大系列。

其中，SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求，可用于200/300毫米线的大规模工业生产。